上世紀(jì)50年代初，出現(xiàn)了一種具有高速響應(yīng)的永磁力矩電機(jī)。50年代后期，以噴嘴閥為主導(dǎo)的電液伺服閥出現(xiàn)在50年代后期，使電液伺服系統(tǒng)成為當(dāng)時(shí)較快的響應(yīng)和的控制精度伺服系統(tǒng)。
1958，博湖布恩等人宣布：麻省理工學(xué)院的EIR研究工作，為現(xiàn)代電液伺服系統(tǒng)的理論和實(shí)踐奠定了基礎(chǔ)。60年代，各種結(jié)構(gòu)的電液伺服閥相繼出現(xiàn)，尤其是電液伺服閥的出現(xiàn)。O型閥采用干轉(zhuǎn)矩馬達(dá)的級(jí)間力反饋和以木格為代表的各種電反饋技術(shù)的應(yīng)用，進(jìn)一步提高了電液伺服閥的性能，電液伺服技術(shù)日趨成熟。電液伺服系統(tǒng)已經(jīng)成為一種軍事技術(shù)，它是航空航天自動(dòng)化控制的重要組成部分，也是民用技術(shù)和裝備的一部分。